https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/501073
標題: | Abbe singular-value decomposition: Compact Abbe's kernel generation for microlithography aerial image simulation using singular-value decomposition method | 作者: | Chen, C.C.P. Gurhanli, A. Chiang, T.-Y. Hong, J.-J. Melvin, L.S. CHUNG-PING CHEN |
公開日期: | 2008 | 卷: | 26 | 期: | 6 | 起(迄)頁: | 2322-2330 | 來源出版物: | Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/501073 | DOI: | 10.1116/1.3013310 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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