第 1 到 1 筆結果,共 1 筆。
公開日期 | 標題 | 作者 | 來源出版物 | scopus | WOS | 全文 | |
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1 | 2023 | CMOS-Embedded 3D Micro/Nanofluidics Employing Top-Down Beol Single-Step Wet-Etching Technique | Weng, Wei Yang; Hou, Hung Yu; Chao, Yueh Jung; SHWU-JEN LIAW ; JUN-CHAU CHIEN | Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) | 0 | 0 |