https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/374080
標題: | New parametric point spread function calibration methodology for improving the accuracy of patterning prediction in electron-beam lithography | 作者: | Chun-Hung Liu Hoi-Tou Ng Kuen-Yu Tsai KUEN-YU TSAI |
公開日期: | 三月-2012 | 卷: | 11 | 期: | 1 | 起(迄)頁: | 013009 | 來源出版物: | Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS | URI: | http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/374080 | DOI: | 10.1117/1.JMM.11.1.013009 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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