https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/467256
標題: | Age-based double EWMA controller and its application to a CMP process | 作者: | Chen, A. Guo, R.-S. ARGON CHEN |
公開日期: | 2000 | 起(迄)頁: | 261-276 | 來源出版物: | Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/467256 |
顯示於: | 工業工程學研究所 |
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