https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/359317
標題: | 10 nm lines with 14 nm half pitch grating written in HSQ by electron beam direct write at 5 keV | 作者: | Fu-Min Wang Susumu Ono Hsin-Hung Su Kuen-Yu Tsai Chieh-Hsiung Kuan KUEN-YU TSAI |
公開日期: | 六月-2010 | 起(迄)頁: | 2-19 | 來源出版物: | The 54th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication | URI: | http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/359317 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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